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用作光致抗蚀剂的环化橡胶
引用本文:王朝阳,黄学品,杨继华. 用作光致抗蚀剂的环化橡胶[J]. 橡胶工业, 2000, 47(8): 464-467
作者姓名:王朝阳  黄学品  杨继华
作者单位:1. 华南理工大学材料研究所,广东广州,510641
2. 中国科学院,长春应用化学研究所,吉林,长春,130022
摘    要:介绍了环化聚异戊二烯和环化聚丁二烯橡胶的研究发展状况、合成方法、结构表征及在光刻胶中的应用,提出了环化橡胶的发展趋势。环化反应是按阳离子型机理进行的;分子结构由含不饱和双键的线形高分子链转变成含特殊多环结构的线形高子分链;由单体直接生产环化橡胶是研究的发展方向。

关 键 词:环化橡胶 阳离子环化 光刻胶 光致抗蚀剂
文章编号:1000-890X(2000)08-0464-04
修稿时间:2000-02-17

Cyclized rubbers used as photoresists
WANG Zhao-yang,HUANG Xue-pin and YANG Ji-hua. Cyclized rubbers used as photoresists[J]. China Rubber Industry, 2000, 47(8): 464-467
Authors:WANG Zhao-yang  HUANG Xue-pin  YANG Ji-hua
Affiliation:South China University of Technology,South China University of Technology and Changchun Institute of Applied Chemistry,CAS
Abstract:The development,synthesis and characterization of cyclized rubbers,as well as their application to photoresists are described.The cyclized rubbers are prepared by cationic cyclization,in which the linear molecule chains of rubbers with the unsaturated double bonds are transformed into those with the polycyclic structures.The polymerization of cyclized rubbers directly from monomer is to be developed in future.
Keywords:cyclized rubber  cationic cyclization  photoresist
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