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| 淀积大晶粒Pb膜的研究 | |
| 引用本文： | 和志刚,冯嘉猷,唐昭平,张芳伟,李恒德.淀积大晶粒Pb膜的研究[J].真空科学与技术学报,1989(4). |
| 作者姓名： | 和志刚 冯嘉猷 唐昭平 张芳伟 李恒德 |
| 作者单位： | 清华大学工程物理系 (和志刚，冯嘉猷，唐昭平，张芳伟)，清华大学工程物理系(李恒德) |
| 摘 要： | 一、引言作为集成电路和太阳能电池电极引线的金属化薄膜必须具有较好的抗电迁移性能,使金属/半导体界面保持较低的接触电阻和较好的接触稳定性。减弱迁移的途径之一是增大薄膜晶粒尺寸和取向度,减少晶界短路通道,并减弱原子在晶粒内平行密排面方向 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |