从半导体技术进步看半导体设备的发展方向

本文从半导体技术进步的角度阐述了半导体设备发展的几个主要方向。文章开头综述了半导体设备与器件发展的相互关系、半导体设备的学科综合性及设备市场简况，随后分述了半导体设备大直径化趋势，设备超净化发展，设备单片加工化及复合化，设备日益昴贵化及低成本努力，以及其他一些发展趋势，可供设备与器件两个专业的工作者参考。