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半导体器件失效分析

作者姓名：	徐清发

作者单位：	沈阳仪器仪表工艺研究所

摘要：	失效分析是半导体器件可靠性工程的重要组成部分.本文从器件设计、材料及工艺角度概述了半导体器件失效机理、失效模式;同时,对常规失效检验法及其仪器做了简要介绍.
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