0.18μm CMOS工艺下的新型ESD保护电路设计 |
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作者姓名: | 刘红侠 刘青山 |
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作者单位: | 西安电子科技大学,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,陕西,西安,710071 |
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基金项目: | 国家自然科学基金资助,教育部新世纪优秀人才计划资助,国家部委预研基金资助,西安应用材料创新基金资助 |
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摘 要: | 为了有效地保护0.18μm CMOS工艺下箝位器件的栅极,设计了一款新型的电源和地之间的静电保护电路.该电路在检测电路部分加了一个NMOS反馈器件,同时在检测电路的下一级使用了动态传输结构.反馈器件能够提高电路中各器件工作状态的转换速度,使得保护电路能够及时关闭,避免箝位器件栅极电流保持过长时间,保护了箝位器件的栅极.此外,该电路采用0.18μm CMOS工艺下的普通器件,节省了电路的成本.
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关 键 词: | 静电放电 保护电路 反馈 动态传输 |
收稿时间: | 2008-06-23 |
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