高精度渐开线检查仪

本文介绍1980年底研制成的测量高精度齿轮和检定渐开线样板的渐开线检查仪。该仪器采用激光干涉仪测量长度,用切向光栅系统测量角度。齿形测量的极限误差随基圆半径为10～200毫米的不同而不大于0.5～1微米。 文中介绍了仪器的基本原理、结构特点及精度,并给出测量PTB样板的结果。