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| 高纯硅烷气的制取 | |
| 作者姓名： | 王季陶 沈兆友 鲍慧君 王焕杰 蒋克成 缪锡奎 |
| 作者单位： | 复旦大学(王季陶，沈兆友，鲍慧君，王焕杰)，上海创新电子材料厂(蒋克成)，上海创新电子材料厂(缪锡奎) |
| 摘 要： | 本工作中把硅烷的吸附提纯与低温蒸馏提纯方法紧密地结合制取了高纯硅烷气体,同时对钢瓶包装的容器作电镀处理,保证了高纯硅烷气不被容器所沾污,从而保证了气体的质量。目前已把上述方法用于生产中,钢瓶充装的高纯硅烷气使用方便,能满足半导体器件工业的需要,对LPCVD(低压化学蒸气淀积)薄膜新工艺的推广,亦起了推动和促进作用。 |
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