| 高纯六氟化钨的生产 |
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| 引用本文： | 柳彤,王少波,李本东,李绍波.高纯六氟化钨的生产[J].化学工业与工程,2008,25(1):87-91. |
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| 作者姓名： | 柳彤 王少波 李本东 李绍波 |
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| 作者单位： | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北,邯郸,056027 |
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| 摘 要： | 六氟化钨在电子工业中有着广阔的应用前景，论述了目前工业化生产高纯六氟化钨（WF6）的方法、六氟化钨的质量标准、分析检测方法和六氟化钨的发展前景。
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| 关 键 词： | 六氟化钨 合成 纯化 分析 |
| 文章编号： | 1004-9533（2008）01-0087-05 |
| 收稿时间： | 2007-01-30 |
| 修稿时间： | 2007年1月30日 |
Production of High Purity of Tungsten Hexafluoride |
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| LIU Tong,WANG Shao-bo,LI Ben-dong,LI Shao-bo.Production of High Purity of Tungsten Hexafluoride[J].Chemical Industry and Engineering,2008,25(1):87-91. |
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| Authors: | LIU Tong WANG Shao-bo LI Ben-dong LI Shao-bo |
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| Affiliation: | (The 718 Research Institute of CSIC, Handan 056027, Hebei Province, China) |
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| Abstract: | Tungsten hexafluoride has wide application in electronic industry. In this paper, the method for industrialized production of tungsten hexafluoride at present, quality standard of tungsten hexafluoride and analysis technique of tungsten hexafluoride were introduced, and the promising development of tungsten hexafluoride was summarized. |
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| Keywords: | tungsten hexafluoride synthesis purification analysis |
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