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| 等离子化学气相沉积 TiN 涂层的组织与性能研究 | |
| 引用本文： | 王钧石,吴大兴.等离子化学气相沉积 TiN 涂层的组织与性能研究[J].大型铸锻件,1989(1):40-43. |
| 作者姓名： | 王钧石 吴大兴 |
| 作者单位： | 西南交通大学，西南交通大学，西南交通大学，西南交通大学 |
| 摘 要： | 本文用透射电镜和 X 光衍射仪揭示了等离子化学气相沉积(以下简称等离子沉积法)TiN 涂层的物相及超细晶粒、位错、孪晶、择优取向等微观结构,并对该涂层的性能进行了比较试验。 |
| 关 键 词： | TiN涂层 化学气相沉积 等离子法 |
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