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| 一种精密流场维持系统的设计与应用 | |
| 引用本文： | 罗晋.一种精密流场维持系统的设计与应用[J].电子工业专用设备,2021,50(3):42-45. |
| 作者姓名： | 罗晋 |
| 作者单位： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海 201203 |
| 摘 要： | 对一种精密流场维持系统进行了设计,包括软件模块、维持单元控制模块、供液控制模块、运动平台控制模块等,并通过这一控制系统实现了精密流场的建立、动态维持和撤销等功能.使用流场温度测量系统、流场压力测量系统、流场气泡观测系统对相关流场进行了测量与验证,测试结果表明,流场的温度梯度、压力波动、气泡数量等指标达到实验要求. |
| 关 键 词： | 流场维持系统 流场温度测试 流场压力测试 流场气泡测试 |
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