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| 航天微系统技术及其应用概述 | |
| 作者姓名： | 孙海钦 李金 吴振广 朱英玮 闵康磊 |
| 作者单位： | 上海航天电子技术研究所,上海 201109 |
| 摘 要： | 微系统技术是一种利用三维加工技术将微型传感单元、控制单元、执行单元和微能源结合在一起的具有独立执行特定任务能力的微型系统,未来微电子、微机械等技术的发展方向.航天微系统技术是微系统技术在航空航天领域的适应性发展,本文主要研究了国内外微系统技术在航空航天方向的应用与成果,为我国航天微系统技术的发展与应用提供参考. |
| 关 键 词： | 航天微系统 智能硬件 应用与发展 概述 |
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