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| 基于超材料的声表面波微流控芯片设计和工艺 | |
| 引用本文： | 刘鹏,赵欣洒,于本知,史韶杰,马瑜娟.基于超材料的声表面波微流控芯片设计和工艺[J].电子工艺技术,2021,42(3):128-130,162,177. |
| 作者姓名： | 刘鹏 赵欣洒 于本知 史韶杰 马瑜娟 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第二研究所,山西 太原 030024;中北大学信息与通信工程学院,山西 太原 030051 |
| 摘 要： | 声表面波(SAW)是一种能量聚集在基底表面传播的弹性声波.为了克服传统声表面波芯片声场分布不均匀、能量不集中和声场单一等缺点,将声学超材料和声表面波技术相融合,通过对基于声学超材料改进声场的芯片进行有限元仿真分析,实现低功耗声波激励下的声场局域增强、能量均匀分布的效果,进而加工并制作了铜柱阵列微结构的声表面波芯片.仿真... |
| 关 键 词： | 声表面波 微流控芯片 声学超材料 工艺设计 |
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