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| 50μm级D形硬质合金微铣刀铣削纯铜试验研究 | |
| 引用本文： | 严广和,姜晨,张勇斌,洪小兰,钱大兵.50μm级D形硬质合金微铣刀铣削纯铜试验研究[J].电子科技,2021,34(1):36-42. |
| 作者姓名： | 严广和 姜晨 张勇斌 洪小兰 钱大兵 |
| 作者单位： | 上海理工大学 机械工程学院,上海200093;中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所,四川 绵阳621900;上海理工大学 机械工程学院,上海200093;中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所,四川 绵阳621900 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;创新项目 |
| 摘 要： | 针对折叠波导慢波结构的微型化和高精度要求,采用自研的μEM-200CDS2组合高精度加工机床,通过线电极电火花磨削技术,制备出直径为50μm级的D形微铣刀.在纯铜工件上开展工艺试验,研究微槽的表面质量.使用白光干涉仪、超景深显微镜、扫描电镜等仪器来观察微槽的变化情况,获得了微槽表面形貌、粗糙度等随铣削距离的变化规律,并... |
| 关 键 词： | 折叠波导慢波结构 线电极电火花磨削 D形微铣刀 表面质量 毛刺形成 粗糙度 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |