|
|||||
|
|
| 磁控溅射制备ZnO/p-Si多孔纳米薄膜异质结及其室温气敏特性 | |
| 作者单位： | 河南理工大学 物理与电子信息学院, 河南 焦作 454003;河南理工大学 物理与电子信息学院, 河南 焦作 454003;河南理工大学 分析测试中心, 河南 焦作 454003 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;河南省高校科技创新团队支持计划;河南省高校基本科研业务费专项资金项目 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 多孔纳米薄膜 ZnO/p-Si异质结 室温 磁控溅射 气敏 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |