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| 掩模制造用量测设备工件台结构研究 | |
| 作者姓名： | 华卫群 尤春 薛文卿 |
| 作者单位： | 无锡中微掩模电子有限公司,江苏无锡 214135 |
| 摘 要： | 高精密量测机台在量测过程中,温度波动和支撑地板震动均会影响量测精度.选用合适的量测设备、工件台材料以减弱温度波动的影响,选用装备减震功能的部件以提高量测工件台的平稳性,采用气悬浮移动工作平台减少摩擦力以提升量测精度.量测设备工件台结构和零部件组合的几何精度分析结果表明,高精密量测机台的水平/垂直直线性上移动小于2 μm... |
| 关 键 词： | 量测设备 工件台 花岗岩基座 气浮导轨 微晶玻璃 |
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