|
|||||
|
|
| 电流垂直流动集成大功率PIN限幅MMIC技术 | |
| 作者姓名： | 彭龙新 戴家赟 王钊 贾晨阳 |
| 作者单位： | 南京电子器件研究所,南京 210016;微波毫米波电路与模块国家重点实验室,南京 210016 |
| 摘 要： | 提出了一种电流垂直流动的纵向导电PIN二极管集成限幅器.根据功率要求,确定了 PIN的P+、I和N+层浓度和厚度等参数,并设计了工艺实现方案和加工方法,成功研制的SiC衬底Si PIN限幅器面积为3.3mmx3.1 mm,在3.5GHz频率下,能够持续承受200 W连续波功率,300 W、400 W、500W、600W... |
| 关 键 词： | 垂直PIN 异质集成 高功率限幅器 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |