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| 离子注入机金属铝离子源的气源的优选 | |
| 引用本文： | 孙勇,王迪平,陈洪,彭立波.离子注入机金属铝离子源的气源的优选[J].电子工艺技术,2021,42(3):147-149,169. |
| 作者姓名： | 孙勇 王迪平 陈洪 彭立波 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南 长沙 410111;中国电子科技集团公司第二研究所,山西 太原 030024 |
| 摘 要： | 注铝离子注入机,是宽禁带半导体SiC产业的关键设备,金属铝离子源直接影响了整机的性能指标,特别是PM周期和离子源寿命.为保证离子源的长寿命和铝离子大束流,针对金属铝离子源放电的辅助气源进行了一系列的研究和实验,包括铝离子产额、束流质谱、阴极使用寿命及污染导致的放电打火情况等,通过实验结果筛选出最佳的气源. |
| 关 键 词： | 注铝离子注入机 金属铝离子源 束流质谱 |
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