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| 基于推挽式热膨胀流陀螺敏感机理的研究 | |
| 引用本文： | 王育新,朴林华,李备,丁霞.基于推挽式热膨胀流陀螺敏感机理的研究[J].电子元件与材料,2021,40(4):333-338. |
| 作者姓名： | 王育新 朴林华 李备 丁霞 |
| 作者单位： | 北京信息科技大学 北京市传感器重点实验室, 北京 100101;青岛科技大学 数理学院, 山东 青岛 266061 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;北京市新世纪百千万人才工程培养项目;北京市重点实验室开放基金;北京信息科技大学促进高校内涵发展项目;现代测控技术教育部重点实验室资助;北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助 |
| 摘 要： | 提出一种新型推挽式热膨胀流陀螺结构,并解释了它的敏感机理.通过建立陀螺敏感元件的二维模型,利用COMSOL有限元分析软件对敏感元件内的温度场和气流速度场进行了计算,同时研究了角速度对温度场和气流速度场变化的影响,最后在Proteus电路仿真软件中通过建立陀螺检测电路模型定量地计算了热膨胀流陀螺的输入输出特性关系.计算结... |
| 关 键 词： | 热膨胀流陀螺 有限元分析 电路仿真 敏感机理 MEMS |
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