| Pt—WO3薄膜气敏传感器的气敏性能研究 |
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| 引用本文： | 李昌青,胡明,尹英哲,马晋毅,冯有才,陈鹏.Pt—WO3薄膜气敏传感器的气敏性能研究[J].压电与声光,2008,30(6). |
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| 作者姓名： | 李昌青 胡明 尹英哲 马晋毅 冯有才 陈鹏 |
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| 作者单位： | 天津大学电子信息工程学院，四川压电与声光技术研究所 |
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| 摘 要： | 用直流反应磁控溅射法制备了Pt-WO3气敏薄膜,进行了薄膜晶体结构和表面形貌的分析,研究了添加Pt对WO3电学和气敏特性的影响。实验证明:当Pt膜厚为4 nm时,WO3薄膜对气体的敏感特性得到改善,对φ(NO2)=5×10-6和φ(NH3)=10×10-6的工作温度均降低了50℃,灵敏度分别达到11.5和900,是纯WO3薄膜的2~3倍,且响应时间缩短。
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| 关 键 词： | 直流反应磁控溅射 添加 响应时间 灵敏度 |
Research on Sensing Properties of Pt-WO_3 Thin Film Gas Sensors |
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| LI Chang-qing ,HU Ming ,YUN Yong-chol ,MA Jin-yi ,FENG You-cai ,CHEN Peng.Research on Sensing Properties of Pt-WO_3 Thin Film Gas Sensors[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2008,30(6). |
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| Authors: | LI Chang-qing HU Ming YUN Yong-chol MA Jin-yi FENG You-cai CHEN Peng |
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| Affiliation: | LI Chang-qing 1,HU Ming 1,YUN Yong-chol 1,MA Jin-yi 2,FENG You-cai 1,CHEN Peng 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | DC reactive magnetron sputtering additive response time sensitivity |
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