ESD模拟器电压校准方法研究

本文在研究不同类型ESD模拟器放电电压校准的基础上，为不能从ESD模拟器放电电极进行校准的模拟器提出了新的校准方法，即用间接测量法对ESD模拟器的多个参数进行校准，根据校准结果判断被校ESD模拟器的放电电压是否满足相关标准的要求。该方法对ESD模拟器具有普遍适用性。