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| SnO2薄膜的湿敏效应 | |
| 引用本文： | 张锦文,武光明,宋世庚,陶明德. SnO2薄膜的湿敏效应[J]. 半导体技术, 1999, 24(6): 42-44 |
| 作者姓名： | 张锦文 武光明 宋世庚 陶明德 |
| 作者单位： | 1. 北京大学微电子学研究所,北京,100871 2. 北京石油化工学院基础部,北京,102600 3. 中国科学院新疆物理所,乌鲁木齐,830011 |
| 摘 要： | 报道了用喷雾热分解法在不同温度下制备二氧化锡薄膜，发现其在３２５℃时已晶化，得到四方相多晶ＳｎＯ２。这种薄膜具有明显湿敏效应。测量表明，较高湿度区阻值随湿度变化近似线性，从高湿到低湿平均为每上升１％ＲＨ，阻值下降８．８π，响应速度小于１分钟，阻值恢复较容易。 |
| 关 键 词： | SnO2薄膜 湿敏效应 喷雾热分解法 |
| 修稿时间： | 19981230 |
Study of Humid Sensitivity of SnO2 Film Prepared by Spray Pyrolysis |
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| Zhang Jinwen,Wu Guangming,Song Shigeng,Tao Mingde. Study of Humid Sensitivity of SnO2 Film Prepared by Spray Pyrolysis[J]. Semiconductor Technology, 1999, 24(6): 42-44 | |
| Authors: | Zhang Jinwen Wu Guangming Song Shigeng Tao Mingde |
| Affiliation: | Zhang Jinwen(Institute of Microelectronics,Beijing University,Beijing 100871)Wu Guangming(Division of Fundamental Courses,Beijing Institute of Petrolic and ChemicalTechnology,Beijing 102600)Song Shigeng,Tao Mingde(Xinjiang Institute of Physics,Chinese Academy of Science,Wulumuqi 830011) |
| Abstract: | |
| Keywords: | SnO_2 thin film Humid sensitivity Spray pyrolysis |
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