Lanxide技术合成含烧结助剂的复合AlN粉体 |
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引用本文: | 林志浪,郑新和,王群,周美玲. Lanxide技术合成含烧结助剂的复合AlN粉体[J]. 无机材料学报, 2003, 18(6) |
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作者姓名: | 林志浪 郑新和 王群 周美玲 |
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作者单位: | 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室,上海,200050;北京工业大学材料科学与工程学院,北京,100022 2. 中国科学院半导体研究所,北京,100083 3. 北京工业大学材料科学与工程学院,北京,100022 |
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摘 要: | 高纯度的氮气中,以Al-Mg-Y合金为母合金,利用Lanxide技术合成了含烧结助剂Y2O3的复合AlN粉体.通过扫描电镜、X射线衍射、粒径分析及化学成分分析等检测手段对氮化产物进行表征.实验结果表明,合金氮化反应完全,氮化产物疏松易于粉化.粉化后获得的复合AlN粉体具有纯度高,氧杂质含量低,粒度细小等优点.
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关 键 词: | AlN粉体 Lanxide技术 铝合金 烧结助剂 |
Synthesis of Composite AlN Powder Mixed with Sintering Additives by the Lanxide Method |
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