| 基于聚吡咯/氧化石墨烯电极的MEMS微电容的性能研究 |
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| 引用本文： | 朱平,霍晓涛,韩高义,熊继军.基于聚吡咯/氧化石墨烯电极的MEMS微电容的性能研究[J].功能材料,2013(19):2768-2772. |
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| 作者姓名： | 朱平 霍晓涛 韩高义 熊继军 |
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| 作者单位： | 1. 中北大学 电子测试技术国防科技重点实验室,山西 太原,030051
2. 山西大学 分子科学研究所,山西 太原,030006 |
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| 基金项目： | 山西省自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | MEMS微电容具有高比容量、高储能密度和抗高过载等特点,在微电源系统、引信系统以及物联网等技术领域具有广泛的应用前景。设计制作了一种三维结构的聚吡咯/氧化石墨烯电极的MEMS微电容。该微电容由三维结构集流体、功能薄膜、凝胶电解质和BCB封装构成,其三维结构集流体是基于RIE刻蚀等微加工工艺加工实现的,而功能薄膜是通过电化学沉积工艺在集流体表面沉积聚吡咯/氧化石墨烯制备而成的,具有阻抗低、容量高、循环性能好的优点。电极的结构表征表明,聚吡咯中充分掺杂了氧化石墨烯,功能材料微观结构规整。器件电化学测试结果表明,放电电流为3mA时,MEMS微电容具有30μF的电容值,比容量达到7mF/cm2,在4000次充放电循环后,器件比容量仍保持在90%,电容量无明显衰减,具有稳定的电容性能和良好的循环性能。
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| 关 键 词： | MEMS 微电容 聚吡咯 氧化石墨烯 循环性能 |
Performance of MEMS microcapacitor based on polypyrrole/graphene oxide electrodes |
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| ZHU Ping
,
HUO Xiao-tao
,
HAN Gao-yi
,
XIONG Ji-jun.Performance of MEMS microcapacitor based on polypyrrole/graphene oxide electrodes[J].Journal of Functional Materials,2013(19):2768-2772. |
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| Authors: | ZHU Ping HUO Xiao-tao HAN Gao-yi XIONG Ji-jun |
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| Affiliation: | ZHU Ping;HUO Xiao-tao;HAN Gao-yi;XIONG Ji-jun;National Key Laboratory for Electronic Measurement Technology, North University of China;Shanxi Laboratory for Molecular Sciences,Shanxi University; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS microcapacitor polypyrrole graphene oxide cycle performance |
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