用SEM AES、XPS及SIMS对氧化物阴极的研究

氧化物阴极应用于各种电子管中已经有50多年的历史,已经发表了许多讨论有关工艺与阴极特性的文章,然而直到现在对阴极的发射机理以及氧化物阴极工作过程中所发生的变化还未能彻底研究清楚。尽管电子管在许多方面的应用已为固态器件所取代,但电子管的世界产量每年仍有几亿只。广义而言,器件的寿命决定于阴极。在器件中阴极是少数会消耗的一种部件,而且它非常脆弱,容易受到许多环境因素的影响。