| 提高微型气体传感器可靠性的有效方法-解决氧化锡敏感膜龟裂问题 |
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| 引用本文： | 闫桂珍,Philip C.H.Chan,Johnny K.O.Sin,I-Ming Hsing. 提高微型气体传感器可靠性的有效方法-解决氧化锡敏感膜龟裂问题[J]. 测试技术学报, 2002, 16(Z2): 947-952 |
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| 作者姓名： | 闫桂珍 Philip C.H.Chan Johnny K.O.Sin I-Ming Hsing |
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| 作者单位： | 1. 北京大学微电子学研究所,北京,100871
2. 香港科技大学电机与电子工程系,香港 |
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| 摘 要： | 本文报导了一种解决氧化锡气体敏感膜龟裂问题的有效方法.实验中发现,溅射形成的氧化锡薄膜在高温处理后或在长时间的高温工作中会发生龟裂,对器件的稳定性和可靠性带来很大影响.我们用两种方法解决了这个问题.一个是用磷硅玻璃(PSG)回流对氧化锡衬底的粗糙表面进行平坦化处理,另一个是把氧化锡薄膜图形设计成许多细长条状,以释放高温引起的应力变化.这种技术也适用于其它薄膜产生的微裂问题.
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| 关 键 词： | 微机械 气体传感器 稳定性 SnO2 龟裂. |
| 修稿时间： | 2002-03-23 |
An Efficient Method to Avoid Micro-cracks in Tin Oxide Gas Sensing Film |
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| Guizhen Yan,Philip C.H.Chan,Johnny K.O.Sin,I-Ming Hsing. An Efficient Method to Avoid Micro-cracks in Tin Oxide Gas Sensing Film[J]. Journal of Test and Measurement Techol, 2002, 16(Z2): 947-952 |
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| Authors: | Guizhen Yan Philip C.H.Chan Johnny K.O.Sin I-Ming Hsing |
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