| MEMS微构件动态特性测试的激励技术和方法 |
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| 引用本文： | 王晓东,杨洋,佘东生,王涛,王立鼎.MEMS微构件动态特性测试的激励技术和方法[J].测试技术学报,2008,22(5). |
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| 作者姓名： | 王晓东 杨洋 佘东生 王涛 王立鼎 |
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| 作者单位： | 1. 大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116024;辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁,大连,116024
2. 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁,大连,116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，辽宁省自然科学基金，教育部跨世纪优秀人才培养计划 |
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| 摘 要： | 在微机电系统(MEMS)微构件动态特性的测试中,激励是基本环节,通过激励使微构件振动,并测量和分析振动响应信号,实现对微构件动态特性的测试.由于MEMS微构件的尺寸小、谐振频率较高,限制了传统的激励技术和方法在其动态特性测试中的应用.目前应用在MEMS微构件动态特性测试中的激励技术和方法,根据实现激励的方式不同,归纳为三类:利用外部场能的激励方法、内部集成激励元件的方法和基于底座激励的方法.具体介绍了声波激励、超声激励、静电激励、磁激励、电热激励、光热激励和压电激励等具体激励方式的原理及其特点,并对各种激励方法的特点进行了比较和分析.
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| 关 键 词： | 微机电系统微构件 动态特性的测试 激励方法 |
Excitation Techniques for Testing of Dynamic Characteristics of MEMS Microstructure |
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| WANG Xiaodong,YANG Yang,SHE Dongsheng,WANG Tao,WANG Liding.Excitation Techniques for Testing of Dynamic Characteristics of MEMS Microstructure[J].Journal of Test and Measurement Techol,2008,22(5). |
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| Authors: | WANG Xiaodong YANG Yang SHE Dongsheng WANG Tao WANG Liding |
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