微光机电系统的应用领域及近期进展

对微光机电系统（MOEMS）兴趣的惊人增长吸引了包括众多戌中心和工业企业的投入。大量的MOEMS应用领域为之发展提供巨大机遇，如光通信（光开关，交叉连接矩阵，DWDM系统等）、数字图像处理、自适应光学以及工业维护、环保、生物医疗等等。本文简述MEMS（微机电系统）和MOEMS的概念后，着重介绍MOEMS的应用领域和几种典型器件。采用MEMS工艺技术制备出诸如DWDM通信系统用的可调谐F－P干涉仪或用于障碍物探测的二维扫描器等器件。已开发出多种专用技术，制备成功应用于障碍物检测的二氧化硅一维扫描器件。另外，一些器件是微机械与集成光学相结合的MOEMS：例如通信系统中作为网络保护和重组应用的微光开关，用作电动机转动机械部件检测的微振动传感器等。