| 一种Z轴微机械陀螺的自解耦方法研究 |
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| 引用本文： | 谢建兵,苑伟政,常洪龙.一种Z轴微机械陀螺的自解耦方法研究[J].传感技术学报,2006,19(5):2220-2222. |
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| 作者姓名： | 谢建兵 苑伟政 常洪龙 |
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| 作者单位： | 西北工业大学,微/纳米系统重点实验室,西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 在分析了微机械陀螺机械耦合误差产生原因的基础上,提出了一种解耦梁方案,可以从结构上消除振动式微机械陀螺敏感模态对驱动模态的耦合影响;基于该解耦梁方案设计了一种新型的Z轴微机械陀螺结构.分析表明,该陀螺结构消除了敏感模态对驱动模态的耦合影响,实现了解耦设计的目的.
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| 关 键 词： | 微机械陀螺 机械耦合 模态耦合 解耦梁 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-2220-03 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
Study of a decoupled Z-axis MEMS gyroscope |
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| Xie Jianbing,Yuan Weizheng,Chang Honglong.Study of a decoupled Z-axis MEMS gyroscope[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):2220-2222. |
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| Authors: | Xie Jianbing Yuan Weizheng Chang Honglong |
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| Abstract: | This paper reports a bulk decoupled Z-axis micro-machined gyroscope. 16 decouple beams has been used to decouple drive and sense oscillation modes.That design prevents unstable operation due to mechanical coupling. The coupling of modes has been taken off according to both simulation results in ANSYS and MEMS Garden. |
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| Keywords: | micro-machined gyroscope mechanical coupling modes coupling decouple beams |
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