| 超长钨丝阵列锐化的研究 |
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| 引用本文： | 朱长纯,刘光治.超长钨丝阵列锐化的研究[J].电子器件,1994,17(3):99-102. |
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| 作者姓名： | 朱长纯 刘光治 |
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| 作者单位： | 西安交通大学电子工程系，中国科学院电子所 |
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| 摘 要： | 本文报告了玻璃介质钨丝阵列场发射阴极欧姆接触的三种制造方法，以及场发射尖端阵列的锐化工艺—提拉法和倒提拉法。同时给出了锐化结果的电镜照片。
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| 关 键 词： | 场致发射阴极 腐蚀 欧姆接触 |
Study of Super Long Tunsten Filament Array Shaping |
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| Zhu Changchun,Zhang Xiaoyong,Wu Cunyu.Study of Super Long Tunsten Filament Array Shaping[J].Journal of Electron Devices,1994,17(3):99-102. |
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| Authors: | Zhu Changchun Zhang Xiaoyong Wu Cunyu |
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| Abstract: | In the paper,we reported three methods of making ohmic contacting of the tunsten fitament cathode array with the glass as the medium.Also.two shaping techniques of the tunstenfitament cathode array were metioned.In addition,we showed the STM pictures of the shapingresults. |
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| Keywords: | Field emitter array etch ohmic contacting |
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