| 激光干涉仪非线性的测量 |
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| 引用本文： | 许婕,徐毅,叶孝佑.激光干涉仪非线性的测量[J].计量学报,2003,24(4):271-274. |
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| 作者姓名： | 许婕 徐毅 叶孝佑 |
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| 作者单位： | 中国计量科学研究院,北京,100013 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(59735120) |
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| 摘 要： | 激光干涉仪和高精度位移传感器的非线性一般为1～5nm,为了对这样的非线性进行测量,必须使用高精度测量方法,并建立高精度测量装置。文中描述了高精度拍频法布里 珀罗激光干涉仪,和利用它对工业激光干涉仪的非线性进行的测量实验。测量范围大于1.3μm,测量不确定度约为2nm。
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| 关 键 词： | 计量学 拍频法布里珀罗干涉仪 纳米测量 非线性测量 |
| 文章编号： | 1000-1158(2003)04-0271-04 |
| 修稿时间： | 2002年5月22日 |
The Measurement for the Nonlinearity of Laser Interferometer |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Metrology Fabry-Perot interferometer Measurement in nanometer Nonlinearity |
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