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| 新兴光化学气相沉积非晶硅太阳电池的发展趋势 | |
| 引用本文： | 李文范.新兴光化学气相沉积非晶硅太阳电池的发展趋势[J].太阳能学报,1988(1). |
| 作者姓名： | 李文范 |
| 作者单位： | 中国科学院长春应用化学研究所 |
| 摘 要： | 本文综述了光化学气相沉积(Photo-CVD)法分解硅烷(SiH_4,Si_2H_6)制备非晶硅(a-Si)膜的原理、膜的性质和a-Si太阳电池的光伏特性,报道了a-Si太阳电池的制备技术和发展现状,并对其前景进行了评述。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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