| 基于ASIC芯片的微小电容测量电路研究 |
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| 引用本文： | 胡敏,李晓莹,常洪龙,蒋庆华.基于ASIC芯片的微小电容测量电路研究[J].计量学报,2007,28(4):379-382. |
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| 作者姓名： | 胡敏 李晓莹 常洪龙 蒋庆华 |
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| 作者单位： | 西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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西北工业大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 基于一款专用集成电路芯片（ASIC）HTl33实现了一种微小电容测量电路。该电路具有高分辨率、高抗干扰性、偏置调节能力和模拟、数字信号两种输出模式等特点。文中详细论述了测量电路的实现以及电路的抗干扰措施，并通过测定一组微小电容验证了电路的性能。实验表明，电路分辨率达0．5fF，非线性度8．67％。该电路在各种电容式传感器特别是微机电系统（MEMS）传感器中有广泛的应用前景。
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| 关 键 词： | 计量学 微小电容 电容式传感器 |
| 文章编号： | 1000-1158(2007)04-0379-04 |
| 修稿时间： | 2005年9月28日 |
Ultra-small Capacitance Sensing Circuit Based on a Piece of ASIC |
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| HU Min,LI Xiao-ying,CHANG Hong-long,JIANG Qing-hua.Ultra-small Capacitance Sensing Circuit Based on a Piece of ASIC[J].Acta Metrologica Sinica,2007,28(4):379-382. |
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| Authors: | HU Min LI Xiao-ying CHANG Hong-long JIANG Qing-hua |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Metrology Small capacitance Capacitive sensor |
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