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杂志ISSN号
α—Fe2O3薄膜的制备,结构和气敏特性
作者姓名:
严北平 彭军
摘 要:
采用等离子增强化学气相淀积工艺(PECVD)制备出了Fe2O3薄膜,用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析了薄膜的结构、表面形貌和粒度,研究了薄膜对乙醇、液化石油气、煤倔和氢气的敏感特性。结果表明所研制的薄膜对乙醇有较高灵敏度,共检测下限可达1ppm,而对液化石油气、煤气和氢气不太敏感,具有优良的选择性。
关 键 词:
薄膜 气敏特性 气敏元件 α-三氧化二铁
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