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上海光机所研制成功多路并行激光直写系统
摘 要:
2010年11月,上海光机所周常河研究员课题组成功研制出多路激光直写装置。该装置采用405nm的蓝光激光光源.尼康0.9数值孔径的透镜,以及自动聚焦系统,实现了25路高精度并行激光直写,刻写光斑的线宽小于600nm。相比于传统激光直写系统,该装置在刻写速度和效率方面有了很大的提高,几十倍地缩短了激光直写时间,可以快速制作大尺寸、高精度衍射光学元件。
关 键 词:
激光直写系统
并行
多路
光机
上海
自动聚焦系统
衍射光学元件
数值孔径
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