| 基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜溶解二氧化碳传感器的研究 |
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| 引用本文： | 岳钊,牛文成,谢林宏,权伍明,罗翀.基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜溶解二氧化碳传感器的研究[J].传感技术学报,2007,20(6):1203-1206. |
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| 作者姓名： | 岳钊 牛文成 谢林宏 权伍明 罗翀 |
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| 作者单位： | 南开大学信息技术科学学院微电子系,天津,300071;南开大学信息技术科学学院微电子系,天津,300071;天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,天津,300071 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，天津市自然科学基金 |
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| 摘 要： | 应用碳糊成膜方法,设计一种基于MISFET结构Pt-NiO混合敏感膜的新型溶解二氧化碳传感器.文中对器件进行了测量,给出了不同工作点下器件输出电压变化量△Vrs随着溶解二氧化碳浓度变化的响应曲线.实验结果表明,室温下基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜对溶解二氧化碳有很好的敏感性.
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| 关 键 词： | 溶解二氧化碳传感器 Pt-NiO混合敏感膜 MISFET结构 |
| 文章编号： | 1004-1699（2007）06-1203-04 |
| 收稿时间： | 2006-07-14 |
| 修稿时间： | 2006-07-142006-10-18 |
Study on Dissolved Carbon Dioxide Sensor with Pt-NiO Mixed Sensing Film Based on MISFET Structure |
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| Yue Zhao,Niu Wencheng,Xie Linhong,Quan Wuming,Luo Chong.Study on Dissolved Carbon Dioxide Sensor with Pt-NiO Mixed Sensing Film Based on MISFET Structure[J].Journal of Transduction Technology,2007,20(6):1203-1206. |
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| Authors: | Yue Zhao Niu Wencheng Xie Linhong Quan Wuming Luo Chong |
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| Affiliation: | 1. Department of Microelectronics, College of Information Technology and Science, Nankai University, Tianjin 300071, China;2. The Tianjin key laboratory .for Photo-Electronic Thin Film Devices and Technology , Tianjin 300071, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | dissolved carbon dioxide sensor Pt-NiO mixed sensing film MISFET structure |
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