量热式质量流量计

在工业生产过程中,如石油化学工业中气体反应过程的控制、阀门泄漏量的监测及半导体元件的填掺等操作过程,通常需要进行质量流量参数的测量。然而,现有的流量仪表大多数用于测量流体的体积流量,并不能直接进行质量流量的检测,若要获得质量流量,还需进行必要的换算,同时,对温度、压力和介质的粘度进行相应的修正。基于这些原因,人们开发了一些质量流量计,主要有直接称重式、角动量式、差压式和量热式等流量计。差压式质量流量计的测量方法简单、可靠,维护量小,使用广泛,但由于被测介质的密度随温度和压力的变化而有显著的改变,因此,需要进行一些修正。称重式流量计适于液体和固体的测量,对气体还未获得更多的实际应用经验,