其它工艺与设备

SPIE-Vol.4175 0305174SPIE 会议录,卷4175:微机械加工中的材料与器件特性=Proceedings of SPIE,Vol.4175:Material and de-vice characterization in micromachining会,英]/SPIE-The International Society for Optical Engineenng.—200P.(E)本会议录收集了在美国 Santa Clara 召开的微机械加工中的材料与器件特性会议上发表的20篇论文,内容涉及传感器与致动器的微加工,电子原子力显微镜中的探针,多层 MEMS 有限元模拟,X-射线光刻中的图形掩模,硅微系统中一维两维机械应力实验,RF 微机电系统微开关设计。