| 300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计 |
| |
| 引用本文： | 谢均宇,杨亚兵,孙勇.300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计[J].电子工业专用设备,2010,39(5):26-29,37. |
| |
| 作者姓名： | 谢均宇 杨亚兵 孙勇 |
| |
| 作者单位： | 北京中科信电子装备有限公司,北京,101111 |
| |
| 摘 要： | 在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上,阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能;介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路,在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块的硬件基础上,引用了有限状态机对系统软件进行了智能化模型设计。
|
| 关 键 词： | 晶圆传送系统 自动控制 机械手 TurboPMAC 有限状态机 |
Control System Design for Wafer Transmitter of 300mm Ion Implanter |
| |
| XIE Junyu,YANG Yabing,Sun Yong.Control System Design for Wafer Transmitter of 300mm Ion Implanter[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2010,39(5):26-29,37. |
| |
| Authors: | XIE Junyu YANG Yabing Sun Yong |
| |
| Affiliation: | XIE Junyu,YANG Yabing,Sun Yong(BeiJing ZhongKeXin Electronics Equipment CO.,LTD,101111,China) |
| |
| Abstract: | This paper based on the achievement of Wafer Transmitter system's robotization,describes the configuration and the function of kinematic parts respectively,and introduces the idea of the intelligentized system that adhibit Programmable Multi-Axis Controller and Robot Arm module,and modeling with the idea of FSM(finite state machine). |
| |
| Keywords: | Turbo PMAC |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
