激光材料加工

非反应式材料热加工为进行局部加工,把激光聚焦到材料表面上(图1a)。在进行较大面积加工时,是用非聚焦的激光或借助柱面透镜产生一线斑相对于基片运动(图1b)。激光加工的典型横向尺寸由约1微米至几微米。材料表面结构变化的深度由几十埃到几微米。