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| 极高真空测量和超高真空标准评论 | |
| 作者姓名： | 李旺奎 |
| 摘 要： | 一、绪论 空间探索、宇宙模拟、聚变反应、表面物理、材料研究和低温技术等尖端科学和工业的发展,给予真空技术以巨大的推动力量。六十年代标志着真空技术进展到一个崭新的阶段-极高真空(10-11-10-15乇)领域。 六十年代以来的十多年间,超高真空技术得到了更广泛的应用,极高真空获得有了迅猛的发展。1962年在双层壁深冷抽气系统中获得了推测为8×10-15乇的极高真空 (1,2)。随后,诸如采用深冷冷凝泵(3,4)绝对冷凝泵(5)、深冷分子筛吸附录 (6)、深冷霜吸附录(7)、吸气离子泵(8)、冷冻升华泵(9)等先进抽气手段的系统,都获得了≤10-12乇的水平。 … |
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