MEMS闭锁机构离心响应适应性研究

针对当前微机电系统(MEMS)安全与解除隔离(S&A)装置在离心环境下工作时可能存在锁头回弹剧烈、锁梁应力较高引起塑性变形的问题，提出一种有良好离心响应适应性的MEMS闭锁机构。该闭锁机构通过结构设计减弱了锁头在闭锁时的回弹现象，并提高了锁梁的结构强度，使其能够承载更高的离心载荷，同时扩展了闭锁机构稳定闭锁的阈值范围。该闭锁机构在外弹道离心力作用下可以稳定闭锁并准确定位，从而保证传爆序列可靠对正。通过理论分析，结合有限元仿真与样机实验研究了该闭锁机构的性能与工作特性，研究结果表明，该闭锁机构可以在3 500～24 000 r/min的离心转速范围内稳定闭锁，闭锁时锁梁不发生塑性变形。