| 两种制备多晶铜铟硒薄膜方法的比较 |
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| 引用本文： | 林飞燕,秦娟,徐环,史伟民,魏光普. 两种制备多晶铜铟硒薄膜方法的比较[J]. 半导体光电, 2007, 28(4): 528-530 |
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| 作者姓名： | 林飞燕 秦娟 徐环 史伟民 魏光普 |
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| 作者单位： | 上海大学,材料科学与工程学院,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院,上海,200072 |
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| 基金项目： | 上海市高校优秀青年教师后备人选科研项目 , 上海市科学技术委员会专项基金重点项目 |
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| 摘 要： | 采用真空顺序蒸发铜铟金属预置层后真空硒化退火的方法(硒化法),以及真空三元叠层蒸发后氮气气氛退火的方法(叠层法)分别制备了太阳电池吸收层材料CuInSe2薄膜.通过X射线衍射、扫描电子显微镜、能量色散X射线分析技术等分析手段对薄膜进行了表征.结果表明:两种方法制备的薄膜形貌都比较致密均匀,晶粒直径分别约1.5 μm和约1 μm.组分分析表明所制薄膜均为富铜CIS.硒化法制备的CIS薄膜具有单一的黄铜矿相结构;而叠层法制备的薄膜含有少量杂相,如β-In2Se3等.因此硒化法制备的薄膜更适于作为太阳能吸收层材料.
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| 关 键 词： | 铜铟硒 薄膜太阳电池 真空蒸发法 硒化法 |
| 文章编号： | 1001-5868（2007）04-0528-03 |
| 修稿时间： | 2006-10-24 |
Comparison of Two Methods Fabricating CuInSe2 Polycrystalline Films |
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| LIN Fei-yan,QIN Juan,XU Huan,SHI Wei-min,WEI Guang-pu. Comparison of Two Methods Fabricating CuInSe2 Polycrystalline Films[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2007, 28(4): 528-530 |
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| Authors: | LIN Fei-yan QIN Juan XU Huan SHI Wei-min WEI Guang-pu |
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| Affiliation: | School of Material Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, CHN |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CuInSe2 thin film solar cells vacuum evaporation selenization |
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