四极质谱计非线性区的测量方法 |
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引用本文: | 康小录,胡炳森.四极质谱计非线性区的测量方法[J].真空与低温,1993,12(1):18-20. |
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作者姓名: | 康小录 胡炳森 |
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作者单位: | 兰州物理研究所 730000 |
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摘 要: | 通过离子在四极滤质器中与周围离子或分子碰撞现象的分析研究,对离子与离子或分子的碰撞损失模型进行了修正。导出了四极质谱计测量分压力的普遍关系式。利用这一关系式,可以解决四极质谱计在较高压力非线性医的测量问题。
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关 键 词: | 四极质谱计 分压力测量 真空测量 |
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