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四极质谱计非线性区的测量方法
引用本文:康小录,胡炳森.四极质谱计非线性区的测量方法[J].真空与低温,1993,12(1):18-20.
作者姓名:康小录  胡炳森
作者单位:兰州物理研究所 730000
摘    要:通过离子在四极滤质器中与周围离子或分子碰撞现象的分析研究,对离子与离子或分子的碰撞损失模型进行了修正。导出了四极质谱计测量分压力的普遍关系式。利用这一关系式,可以解决四极质谱计在较高压力非线性医的测量问题。

关 键 词:四极质谱计  分压力测量  真空测量
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