全固态单频绿光激光器高精度数字温度控制系统的研究

研制开发了一种基于TMS320F28069嵌入式DSP控制模板的高精度数字温度控制系统,该系统结合变速积分PID控制算法,利用高分辨率脉宽调制(HRPWM)技术,控制热电制冷器(TEC)的驱动电流。针对热敏电阻在高温和低温时温度系数的区别,采用了不同方式的温度检测电路。该系统同时含有三路独立的常温控温模块,在10℃~40℃温控精度为±0.0045℃,一路高温控温模块,在120℃~160℃温控精度为±0.005℃。将该系统用于控制全固态连续单频绿光激光器,在输出功率高达11.07 W时功率波动仅为±0.33%。