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立式接触式干涉仪的核查方法及异常值排查

摘要：	<正>立式接触式干涉仪是三等量块标准装置的主要配套设备,在量块检定过程中,立式接触式干涉仪通过对标准量块与被检量块的微差比较法,取得被检量块的修正值。因此,在检定前对立式接触式干涉仪进行有效的核查,是排除异因、保证检定数据真实准确的基础。笔者现结合多年工作经验,对立式接触式干
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