扫描电子显微镜对样品的要求及其制备

<正>作为一种有效分析工具,扫描电子显微镜(SEM)可以对多种类型材料的表面形貌进行观察;若联合多种探测器,还可以实现对材料元素、组分及结晶进行分析。在检定SEM过程中,许多检定员操作系统技术熟练,但往往容易忽略检定前的准备工作。本文着重介绍样品制备方面的要求及其制备方法。