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| 乙炔气改性类石墨涂层结构和性能研究 | |
| 作者单位： | ;1.青岛四方机车车辆股份有限公司技术工程部;2.中航飞机西安飞机分公司;3.西安交通大学金属材料强度国家重点实验室;4.青岛艾斯达特新材料科技有限公司 |
| 摘 要： | 利用非平衡磁控溅射设备,在溅射制备类石墨碳膜(GLC)时,通入C_2H_2气体引入化学气相沉积(CVD)制备改性GLC。使用划痕仪,显微硬度计,摩擦磨损机,X射线衍射和X射线光电子能谱,对改性GLC进行性能和结构分析,并且和溅射GLC进行了对比。结果发现:添加C_2H_2后的碳膜,非晶结构没有发生变化,但是膜内sp~3键含量增加。改性GLC碳膜硬度有所增加,具有良好的结合强度,碳膜硬度和摩擦性能得到提高。 |
| 关 键 词： | 类石墨碳膜(GLC) 化学气相沉积 摩擦性能 非平衡磁控溅射离子镀 |
C_2H_2 Gas Modified GLC Coating by Unbalanced Magnetron Sputter Ion Plating |
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