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| 多级真空发生器的抽气性能研究 | |
| 作者单位： | ;1.南京理工大学机械工程学院 |
| 摘 要： | 与单级真空发生器相比,多级真空发生器具有抽气能力较强的优势,然而目前工业生产中真空发生器的选型比较盲目,为了定量地描述多级真空发生器的抽气特性,对真空发生器的选型提供一定参考。首先对三级真空发生器的静态流量进行了研究,给出多级真空发生器的真空输出端压力与流量的数学关系式;其次,结合容腔在无流阻和有流阻两种情况下,密闭容腔放气的数学模型,最终得出三级真空发生器在无流阻和有流阻两种情况下,真空度随时间的变化规律。 |
| 关 键 词： | 多级真空发生器 真空元件 流量特性 吸附响应时间 |
Extraction Performance of Multistage Vacuum Generator |
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