基于微电子的微型化学与生物传感器

近二十年来，电极尺寸相当于或小于微米极的微电极技术已有了长足的发展，并显示了有别于常规电极的优越性能。以迅速发展着的微电子技术制作的微电极也为微型化学传感器和生物传感器的批量制作及商品化展现了引人注目的前景。以厚膜和薄膜技术制作的微电极已在微型传感器领域中得到了相当成功的应用，某些微型气体传感器和生物传感器已实现商品化。近年来，基于硅片各相异性三维刻蚀的微机械加工技术也已用于微型传感器的制作。