用统计理论对半导体陶瓷气敏机理的研究

本文试图对半导体陶瓷气敏元件的敏感机理提出理论模型，假定吸附表面态由吸附的氧离子构成，则在吸附还原气体时，将伴随着向体内发射自由电子。运用统计热力学的一般方法给出电导率随气体浓度、加热温度以及材料参数变化的解析表达式，从而得到灵敏度与加热温度、气体浓度和材料参数的定量关系，所得结果与实验结果基本吻合。